无蜡抛光垫/抛光模板/背附板

我公司Zui新研发吸附垫，别名无蜡抛光模板，背附垫，无蜡抛光垫，

主要用于半导体硅晶体材料，蓝宝石衬底、宝石晶体片，硅片外延片等产品的单面抛光，属于电子材料的抛光装置。

这是一种圆形的、由多层树脂材料组成的复合结构、硅片用水（或研磨液）粘贴在镶嵌层圆孔内的吸附膜上。产品可有效防止晶片穿插和剥离现象的发生，提高抛光垫的使用寿命，同时避免碎片、崩角、刮伤现象的产生，提高晶片抛光合格率及效率。本产品具有多种尺寸和结构可供选择，另外可根据客户的要求进行定做。采用本实用新型，可对硅片，蓝宝石进行无蜡抛光，其表面总厚度变化小于5μm，省时、省力，本实用新型制造简单、成本低。